|
| |
|
Слаботочка Книги 1. Электропечи с шагающим полом с водородной и азотио-водородной средой
разно применять высокопроизводительные электропечи с шагающим подом для пайки в среде водорода и азот-но-водородной смеси (табл. 1). В электропечах с шагающим подом наибольшее распространение получила конструкция шагающих балок с вынесенной в зону пониженных температур металлической частью. Опорная часть балки, находящаяся в зоне высоких температур, футерована. В печах с большой длиной рабочего пространства, а также в печах с резкими перепадами температур балки изготовляют составными. В некоторых ко11ст.-укц; ях печей со сложной температурной кривей шагающий под выполняют в высокотемпературной камере. В этом случае герметизацию между подвьжной балкой и неподвижным подо.м осуществляют гидравлическим затвором или с помощью гер.ме-тичных мегаллических коробок. Уплотнение штоков приводных цилиндров вертикального Г1еремещения производят с помощью сальников и сильфо-нов. Загрузку и выгрузку поддонов с издсчиями осуществляют через торцовые проемы. Уплотнение загрузочных и разгрузочных проемов производят с по.мощыо шлюзования в камерах предварительного нагрева. На рис. 3 приведена типовая схема электропечи с шагающим подо.м, состоящая из трех рабочих ка.мер. Непосредственно за ка.мерой загрузки, в которой производят шлюзование, установлена камера предварительного нагрева. Эта ка.мера муфельная; перемещение поддонов в ней осуществ.ьчет толкатель. Камера пайки безмуфельная, транспортирование поддонов в ней производится с помощью шагающих балок. К камере пайки герметично примыкает секционная камера охлаждения, передвижение по KOTopoii осуществляется толкателем. После охлаждения изделий в контролируемой среде до температуры 80-100 С поддоны перед разгрузкой шлюзуют в разгрузочной камере. Широко применяют электропечи для пайки изделий в восстановительной среде. Например, конвейерная электропечь сопротивления СКЗ-4.20. l,! ! 11,5-Х45М1 оснащена кгшерон о.хла-ждения и предназначена длл высоко-те-\шературной пайки узлов с массой не более 2,0 кг. Электропечь (рис. 4) состоит из камер нагрева и охлаждения, форка-мер, конвейерной ленты, нагревательных элементов, привода. Футеровка камеры нагрева двухслойная (из лег-  \ \ \ 2 3 4 S S Рис. 3. Электропечь с шагающим подом: / - камера ьагрузки; 2 - поддон; 3 - камеры предварительного нагрева; 4 - камера пайки; 5 - камера охлаждения; о - камера разгрузки  ковесного ш tMora и перлитовых плит). Свод камеры нагрева съемный и уплотнен с корпусом печи песочным затвором. Эндогаз подается в камеру нагрева от комплектуемой газоприготовительной установки ЭН-60. Проволочные зигзагообразные нагреватели расположены на своде, боковых стенках и в поду. Нагреватели каждой зоны имеют отдельный подвод электропитания через понижающие печные трансформаторы. Перед каме-ой нагрева и за камерой охлаждения асположены форкамеры (камеры за-узки и разгрузки) со шторками и змеиными завеса.ми, уменьшающие расход эндогаза и подсос воздуха в печь. Камера охлаждения состоит из трех водоо.хлаждаемых секций, установленных на фундаменте. Изделия через камеры нагрева и охлаждения транспортируют конвейерной лентой, натянутой на систему барабанов. Рабочая ветвь ленты опирается в фор-камере и камере охлаждения на лист, а в ка-мере нагрева - на балки из жаростойкой стали. Обратная ветвь проходит по специальным роликам На передней раме расположены ведущий барабан, прижимной ролик и привод, состоящий из этектродвига-теля постоянного тока и двух червячных редукторов. Зависимость произ-водительнссти печи от нагрузки на конвейерную ленту иллюстрируется рис. 4, б. Очищенный газ под давлением подается на входные запорные вентили, а затем через фи.тьтр - в магистраль соответствующей камеры печи. Газовая магистраль оснащена ротаметрами, позволяющими регулировать расход газа (от 0,08 до 240 дм. ч). В системе предусмотрена возможность подачи газа в зависимости от требований технологического процесса через испари-ли (для получения газообразного флюса); через увлажнители - для вжи-ганпя металлнзационных покрытий в Керамику, а также непосредственно в технологические муфели. Для улавливания вредных примесей иа выходе каждого технологического муфеля установлены затворы нейтрализации. Все элементы управления расположены на наружных лицевых панелях, онутри раамещены микрохолодильни- vn6 jqeDjKo: I&T-  W JS 30 25 20 /5 t,mu Рис. 4. Конвейерная электропечь сопротивления СКЗ-4.20.1,5/11,5-Х45М1: а - схема (/ - ленточный конвейер; 2 и 5 - передняя и задняя форкамеры; 3 - камера нагрева; 4 - камера охлаждения); б - зависимость производительности от нагрузки (кг) на один метр длины конвейерной ленты ки и испарители, блоки их питания, блоки фильтров со стабилизаторами давления, запорная и соединительная арматуры. Обслуживание осуществляют через стеклянные двери с торцовой стороны блока. Эти электропечи выпускает Дагестанский завод электрсн термического оборудования как левого, так и правого исполнения, что позволяет более рационально использовать производственные площади. В массовом производстве целесообразно применять высокотемпературные печи с шаговым подом для пайки в среде водорода и азотно-водородной смеси. Технические данные электропечи СКЗ-4.20.1,5/1 !,5-Х45.М1 Мощность печи, кВт .... 65 Напряжение, В....... 380 Температура рабочего пространства, С....... 1150 Максимальная нагрузка (кг) на 1 м конвейерной ленты 13,5 Габаритные размеры, мм . . . 2 025X X 15 ОООХ X 2 150 Масса печи, т........ 8.1 В производстве полупроводникових приборов широко применяют конве*-ерные электропечи сопротивления с еэ- дородной средой. ВНИИЭТО разработана унифицированная серия кон-шм 1ерных водородных электропечей на базе типовых изделий и узлов (табл. 2) 14; 11J. Конструктивно вся серия печей модульного исполнения нозноляет для одинаковых по сечению рабочих камер печей собирать их из блоков с число.м тепловых и электрических зон 6, 9 илн 12. Рабочий канал образован металлическим муфелем из жаростойкой стали. Нагревательные ка.меры выполнены водоохлаждаемыми, что обусловливает их малои11ериионность и резко сокращает время разогреча и выхода на режим. Каждая зона питается через тиристорный регулятор напряжения и понижающий трансформатор; нагреватели ннхромовые. Автоматическое регулирование температуры осуществляет высокоточный регулятор ВРТ. Для непрерывной записи температур по зона.м предусмотрен многоточечный электронный потенциометр. Точность регулирования температуры 1,6-2,0 °С. В качестве привода конвейера таких печей применен тиристорный электропривод ЭТЗР1, обеспечивающий скорость движения 0,0005-0,0025 мс с отклонением dz 1 %. На входе и выходе печей расположены азотные завесы, предотвращающие проникание воздуха в рабочий объем. Изготовитель - Таганрогский завод электротермического оборудования. Для пайки мелких изделий при температуре .то 1500 °С в среде водорода применяют толкательные вод(родные электропечи сопротивления (табл. 3). Приведенные однокамерные электропечи снабжены корундовым муфелем, на который намотан молибденовый нагреватель. Футеровка печей выполнена из огнеупорных и теплоизоляционных стандартных элементов, а пространство между муфелем и огнеупорной кдадкой заполнено высокоогнеупорной засыпкой. Контролируемая среда может подаваться в печь как прямотоком, так и противотоком (навстречу движению изделий). Контроль заполнения печей газовой средой осуществляется факелами, а защита от разрушения в результате образовашш взрывоопасной смеси газов - с по мощью предохранительного клапана. Печи комп-пектуют электрооборудованием, обеспечивающим плавное выведение на рабочий режим. Автом?т.ч-ческое регулирование температуры каждой зоны печи производится при помощи термопар и терморегулятора. Наряду с электропечами непрерывного действия для пайки изделий широко используют колпаковые элеваторные и в некоторых случаях шахтные печи. Колп<;копые печи выпускают с одним или двумя рабочими колпаками, состоящими из следующих основных узлов: рабочей камеры, стола загрузки и пульта управления. Высокой производительности процессов пайки достигают при использовании двухколпаксвой электропечи 3. Толкатспьные водородные электропечи сопротивления 2. Э.чектроиени водородные конвейерные сопротивления
Печи модульного нсполнегтя.
СКБ-7001А с программным управлением. Технические данные электропечи СКБ-7001А [Установленная мощность, кВт Температура. °С: рабочая ........ максн.мальиая...... Расход: водорода (одним колпаком), mV4 охлаждающей воды Размеры рабочего пространства одного колпака, мм . . Габаритные размеры, мм . . . Масса печи, т 1200 1400 0.5 1,0 200X300 1740Х X 1800Х Х 2050 2.5 Для пайки изделий в водородной среде ВНИИЭТО разработал новую модификацию элеваторной электропечи сопротивления СКБ-7018М, которая более производите тьна по сравнению с электропечью СКБ-7018. Электропечь (рис. 5) состоит на нагревательной камеры / и механизма подъема днища 3. Камера представляет собой цилиндрический стальной вода-охлаждаемый корпус, установленный на колоннах 2. Нагреватель трехфазный, из вольфрамовых прутков, видЛ  Печь СКБ-7001А снабжена электромеханическим приводом перемещения колпаков, системой автоматического регулирования режимами пайки по Заданной программе с помощью потенциометра ПСР-1-08 и программным регулирующим устройством РУ-5-01. Питание печи осуществляется через силовой понижающий трансформатор ТСУ-50/0,5А, снабжение контролируемой средой автоматическое. Технические данные некоторых колпаковых и еваторных электропечей для пайки Приведены в табл. 4, 5.  Рис. 5. Электропечь сопротивления СКБ-7018.У1 равномерно расположенных вокруг рабочего пространства. Теплоизоляция осуществляется набором молибденовых экранов мен<ду корпусом и нагревателем. Нагреватели питаются от сети 380 В через автотрансформатор РТТЛ1-250/05 и трансформаторы ТПТ-160Л50ВК. Изделия устанавливают на подставку из вольфрамовых и молибденовых штабиков. Днище камеры с подставкой перемещается вертикально электромеханическим приводом. В корпусе камеры имеется гляделка для наблюдения и контроля за температурой оптическим пирометром. На кол01П!ах  4. Колпаковые электропечи для пайки в среде водорода
5. Элеваторные электропечи для пайки в среде водорода
* Расход газа за цикл. 6. Шахтные электропечи для пайки изделий
электропечи расположены панели управления системами водоохлаждения и газоподБода. Датчиком регулирования температуры служат вольфрамо-рениевые термопары. Системы блокировок, сигнализация и предохранительное устройство обеспечивают безаварийную работу систем и механизмов электропечи в ручном и автоматическом режимах. Для пайки крупногабаритных изделий в контролируемой среде применяют шахтные электропечи (табл. 6) со специальными контейнерами, в которые подается газовая среда. Техническиеданные камерных электропечей приведены в табл. 7. Технические данные электропечи СКБ-7018М Мощность, кВт: установленная ..... потребляемая ...... Рабочая температура, °С: номинальная ...... максимальная ...... Размеры рабочего пространства (диаметр X высота), мм . . Йавление газа в печи. Па . . апряжение питающей сети, В Частота тока, Гц...... Чнсло тепловых зон..... Расход. ыУч: водорода ........ охлаждающей воды . . . Масса паяемых изделий, кг . . Минимальное время разогрева до рабочей температуры, с Габаритные размеры, мм . . . Масса печи, кг....... 260 210 1750 1800 500X500 588 380/220 50 1 12 600 1840Х X 1510Х Х2900 1800 Электропечи типа СНО (табл. 7) по требованию заказчика укомплектовываются загрузочными тележками, которые позволяют механизировать загрузку и выгрузку контейнеров. На- гревательная ка.мера представляет собой металлический корпус, зафутеро-ванный огнеупорным и теплоизоляционным материалами. В электропечи исполнения М2 корпус выполнен герметично. В качестве огнеупорного материала использован полновесный корунд марки КО и высокоглиноземистый легковесный шамот ВГЛ-1,3, теплоизоляция выполнена из ультралегковесного шамота марки ШЛБ-0,4. На боковых стенках футеровки имеются ниши, в которых устанавливают U-образные нагреватели. В рабочем пространстве размещены 20 нагревательных элементов из дисилицида молибдена ДМ-400/400. Сверху нагревательная камера закрыта или защитным кожухом (исполнение Ml) с жалюзи для лучшей циркуляции воздуха, или двумя водоохлаждаемыми крышками (исполнение М2). Для определения температуры по длине рабочего пространства в камере установлены три термопары. В шкафу с силовым электрооборудованием размещены печной трансформатор ТПО-40/20/40ПК, автомат-пускатель, трансформатор тока, ти-ристорный регулятор напряжения РНТО-250-330, а также системы водо-и газоподвода. В шкафу управления установлены приборы термоконтроля и автоматики, системы блокировки и сигнализации. Регулирование температуры производится автоматически двумя способами: с помощью программатора ПРУ, электронного потенциометра КСП1 и регулятора РУ или с помощью только электронного потенциометра КСП1 и регулятора РУ. Выбор режима регу- 7. Камерные электропечи для пайки в контролируемых средах ОКБ-1107 СНО-3.4,5.2/16 СНО-3.2.6.2.5 15  Мощность, кВт бочая температура, =С размеры рабочего пространства, мм абаритные размеры печи, мм Масса печи, кг 3,0 1200 250Х ЮОХ X 160 730 X БООХ X 560 680 18.3 1500 450Х 200Х 300 1320Х 1090Х X 1840 1500 26 1500 600X 250X Х320 1320Х I400X X 1950 4200 26 1500 600X250X Х320 19вОХ 1400Х X 1950 4200 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 [23] 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||